CVD金剛石膜熱沉片
時間：2018-10-18 16:02:08 瀏覽：9571次
CVD金剛石的一個重要性質(zhì)是它具有極高的熱導(dǎo)率,在室溫條件下金剛石的熱導(dǎo)率是銅的五倍。同時它本身又是極好的絕緣材料,因此可以應(yīng)用金剛石膜制作高功率光電子元件的散熱器材料。
熱學(xué)級CVD金剛石目前的主要應(yīng)用是高功率半導(dǎo)體二極管激光器，二極管激光器陣列的熱沉(散熱片)，GaN on diamond復(fù)合片和衛(wèi)星擴熱板。主要用于光通訊(光端機)和軍事。目前高功率二極管激光器陣列的輸出功率已經(jīng)達(dá)到1千瓦以上, 不僅在軍事, 將來在民用技術(shù)上肯定會有廣泛用途(如用作激光加工)。
我所利用直流等離子體噴射方法生產(chǎn)的CVD金剛石膜的熱導(dǎo)率已經(jīng)達(dá)到2000W/m.K,完全可以滿足在軍事和民用技術(shù)方面及某些特殊領(lǐng)域?qū)ι岬囊蟆?br />
