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  我所利用直流電弧法可在碳化硅、硅片和硬質(zhì)合金等材料表面沉積金剛石薄膜。此涂層沉積在硬質(zhì)合金刀具上，大幅度提高了刀具耐磨性；沉積在碳化硅密封環(huán)端面上，大大提高了機械密封的機械性能和摩擦性能，延長了機械密封的使用壽命；沉積在硅片上，可以用作GHz級的高頻薄膜型SAW器件。